URE-2000/35紫外掩膜光刻機

一、URE-2000/35紫外掩膜光刻機產品特征：

URE-2000/35采用自動找平，具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝以及接近式曝光四種功能，自動分離對準間隙和消除 曝光間隙，采用 350W 進口(德國)直流汞燈，可調節光的能量密度。設備外形美觀精制，性能非常可靠，自動化程 度很高，操作十分方便。非常適合工廠(效率高，操作傻瓜型，自動化程度高)和高校教學科研 (可靠性好，演示方便)。

二、URE-2000/35紫外掩膜光刻機技術參數：

（1）曝光面積：4英寸

（2）曝光波長：365nm

（3）分辨力：0.8μm

（4）對準精度：±0. 8μm

（5）掩模樣片整體運動范圍：X：15mm; Y：15mm

（6）掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸；

（7）樣片尺寸：直徑φ10mm-- φ100mm(各種不規則片)；

（8）樣片厚度：0.1mm--5mm(可擴展為15mm)；

（9）曝光方式：定時（倒計時方式）和定劑量；

（10）具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能；

（11）照明不均勻性： 3%（φ100mm 范圍）

（12）雙目雙視場對準顯微鏡：既可通過目鏡目視對準，也可通過CCD+顯示器對準，光學合像，光學最大倍數400倍，光學+電子放大800倍

物鏡三對：4倍、10倍、20倍

目鏡三對：10倍、16倍、20倍

（13）調平接觸壓力通過傳感器保證重復；

（14）數字設定對準間隙和曝光間隙；

（15）具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口；

（16）掩模相對于樣片運動行程：X: ±5mm;   Y: ±5mm;  θ：±6o

（17）最大膠厚：400μm（SU8膠，用戶提供檢測條件）

（18）光源平行性：3.5 o

（19）曝光能量密度：>20mW/cm2,照明面溫度<35 o

（20） 單層曝光一鍵完成；

（21）采用球氣浮自動找平；

（22）汞燈功率：350W（直流，進口汞燈）；

（23）外形尺寸：1200mm（長）×900mm(寬)×1750mm（高）；

三、配置

（1）曝光頭

①冷光橢球鏡

②350W進口直流高壓汞燈(進口)

③XYZ汞燈調節臺

④冷卻風扇

⑥光學系統：固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡1、準直鏡鏡2、蠅眼透鏡組（79個透鏡）、i線濾光片、場鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2

（2）對準工件臺

①掩模樣片整體運動臺

②掩模樣片相對運動臺

③轉動臺

④樣片調平機構,自動完成

⑤基片抽拉式上下機構

⑥樣片調焦機構，電機自動調

⑦承片臺4個：f15mm 、2英寸、3英寸、4英寸（可按用戶要求增減）

⑧掩模夾4個：3英寸、4英寸、5英寸（可按用戶要求增減）

（3）對準顯微鏡

①光源（配備品2只）、 電源

②雙目雙視場對準顯微鏡主體

③目鏡3對（10倍、16倍、20倍，共6個）

④物鏡3對（4倍、10倍、20倍，共6個）

⑤CCD對準系統，21寸液晶顯示器

（4）電控系統

①汞燈觸發電源(350W直流汞燈)

②單片機控制系統

③控制柜桌

（5）氣動系統

①氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關等

②電磁閥驅動

③氣動儀表

（6）其他附件

①真空泵一臺

② 空壓機一臺

③管道

（7）技術資料

①使用維修說明書

②顯微鏡使用說明書